@mastersthesis{oai:kagawa-u.repo.nii.ac.jp:00000176, author = {土岐, 篤史}, month = {2020-10-20}, school = {香川大学, Kagawa University}, title = {不揮発性半導体メモリに適用する薄いSiN膜の形成法と電荷捕獲中心モデルに関する研究}, year = {}, yomi = {トキ, アツシ} }