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不揮発性半導体メモリに適用する薄いSiN膜の形成法と電荷捕獲中心モデルに関する研究
https://kagawa-u.repo.nii.ac.jp/records/176
https://kagawa-u.repo.nii.ac.jp/records/1761024eda0-8242-4648-8a32-74933f013810
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (2.4 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-03-27 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | 不揮発性半導体メモリに適用する薄いSiN膜の形成法と電荷捕獲中心モデルに関する研究 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc | |||||||||
| 資源タイプ | master thesis | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| 著者 |
土岐, 篤史
× 土岐, 篤史
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| 学位名 | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位名 | 修士（工学） | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 識別子 | 16201 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 機関名 | 香川大学 | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 機関名 | Kagawa University | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 2009-03-24 | |||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 修第367号 | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||
| KEID | ||||||||||
| 997 | ||||||||||
