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バイアス温度ストレスによる酸窒化SiO2/Si界面欠陥の電荷捕獲挙動
https://kagawa-u.repo.nii.ac.jp/records/184
https://kagawa-u.repo.nii.ac.jp/records/184bc1529d4-609f-4fbb-94bd-19e0cde11658
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (1.8 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2012-03-27 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | バイアス温度ストレスによる酸窒化SiO2/Si界面欠陥の電荷捕獲挙動 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc | |||||||||||||
| 資源タイプ | master thesis | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||
| 著者 |
安藤, 慎一郎
× 安藤, 慎一郎
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| 学位名 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 学位名 | 修士（工学） | |||||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||||
| 識別子Scheme | kakenhi | |||||||||||||
| 識別子 | 16201 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 機関名 | 香川大学 | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 機関名 | Kagawa University | |||||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2010-03-24 | |||||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||||
| 学位授与番号 | 修第435号 | |||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||
| KEID | ||||||||||||||
| 4991 | ||||||||||||||
